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CZ20i半自動測座可實現俯仰、偏擺二軸的旋轉運動及定位,與雷尼紹MH20i測座可互換使用。
A、B軸都以15°為增量,可在空間168個可重復位置上實現定位??芍苯蛹虞d測針或CF20模塊,兼容雷尼紹TP20模塊。
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性能指標
位置重復性:1.5μm(2σ)
分度定位(indexing):
A軸分度: 0°-90°間隔15°
B軸分度: ±180°間隔15°
兼容測頭種類:CF20,TP20
尺寸:長62mm,寬50mm
重量:300g
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